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NEWXYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ UP-100U

PDFカタログ

ナノメートルレベルでXYZ3軸動作が可能なマニピュレータで市販の
SEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることによりマイクロ/ナノメータ
スケールでのマニピュレーション/プロービング等様々な用途に利用できます

XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ UP-100U

正確で簡単な操作

Windows PCに対応しており粗動（パルスモード）と微動（DCモード）の切り替え式ですばやくかつ精密な位置合わせが可能です

幅広い動作環境

大気中から超高真空まで、室温から極低温まで、広範囲な動作・測定環境に対応します

高いコストパフォーマンス

高機能・高性能と低価格の両立を実現しました

幅広い用途

単体でのナノマニュピレーション利用　及び　2台以上を用いたプロービング等様々な用途にご利用いただけます
■ ナノマニピュレーション
■ プロービング(半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC法測定等)
■ その他のマイクロ/ナノメータスケールでの幅広い用途
構成-Basic component
本体部 ： 1台
コントローラ ： 1台
付属品 ： 1式
WindowsノートPC（オプション・別売り） ： 1台
　

XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ 仕様-Specification

本体部
最大移動量 パルス(粗動)モードX軸、Y軸　5mm
Z軸　3mm
DC(微動)モードX軸、Y軸　1μm
Z軸　1μm
最小移動量
(分解能)		パルス(粗動)モード150nm以下(XYZ軸)
DC(微動)モード0.5nm以下(XYZ軸)
動作環境温度4K〜310K、ベーキング温度373K以下
圧力大気圧付近 及び 10-2Pa 〜10-8Pa　
(ピエゾ素子の放電のため使用できない真空領域があります)
接続ケーブル(出力)標準コントロール端子（Dsub-15） 2m 1式
※超高真空・極低温対応（注文製作） 2m 1式
本体寸法
(突出部含む)		約25mm(H)×約50mm(D)×約20mm(W)
本体部分(探針部除く)
本体重量60ｇ以下
本体部分(取付ベース部除く)
コントローラ
入力電圧100VAC(50/60Hz)
消費電力100VA以下
使用温度範囲+5℃〜+40℃
使用湿度範囲15％〜80％
入力出力コントロール端子(Dsub-15)
寸法480mm(W)×100mm(H)×460mm(D)
重量6kg 以下
付属品
標準制御ソフト用CD-ROM1枚
専用接続ケーブル(USB)Windows PC /コントローラ間3.0m 1本
専用接続ケーブルコントローラ5m　 1本　(コネクター別)
ACケーブル1.5m　 1本
WindowsノートPC(オプション・別売り)
OSWindows XP
インターフェイスUSB1個　使用致します
CD-ROMドライブ1個
メモリ512MB以上
HDD10GB以上
＊取り付け可能なSEM/FIB等の機種につきましては、 直接お問い合わせください。