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超高真空集束イオンビーム・電子顕微鏡

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超高真空FIB/SEMカラム

UNISOKUは、 フランスのオルセーフィジックス社 と技術提携を結び、超高真空対応の高空間分解能FIB/SEMカラムを提供します。

FIB/SEMカラム

特長

  • 超高真空環境対応 (UHV-SEM、UHV-FIB)
  • 高い空間分解能 (最上位機種 2.5 nm 以下)
  • 洗練されたユーザーインターフェースのソフト
  • 金属堆積用ガス源対応可能
  • 多様なカラム種
    • Canion31 FIB: 7nm@1pA
    • COBRA-FIB: 2.5nm@1pA
    • Mass filtered FIB: 5nm@1pA
    • ECLIPSE SEM: 10nm@5pA
    • ECLIPSE Plus SEM: 4nm@1pA


超高真空FIB/SEMシステム

ユニソクは超高真空SPMメーカーとして培った超高真空・低温技術を活かし、さまざまな超高真空FIB/SEMシステムを提案します。

FIB/SEMシステム

提案例

  • 低温FIB/SEMシステム
  • SPM複合型FIB/SEMシステム
  • マルチプロービングFIB/SEMシステム
  • Dual FIB/SEMシステム
  • オージェ分光、EDXシステム

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