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ナノプローバー(超高真空) UMP1000-4P

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ナノプローブ表面電気特性測定装置。接触探知機能を追加。各プローブがアクチュエータとしてXYZ軸の制御が可能。半導体表面の任意位置で電気特性測定に最適。小型、軽量で市販のSEMにも取り付け可能。超高真空、超低温環境でも動作可能。
特長
各プローブがアクチュエータとしてXYZ軸の制御が可能。半導体表面の任意位置で電気特性測定に最適
小型、軽量で市販のSEMにも取り付け可能
超高真空、超低温環境でも動作可能
使いやすいユーザーインターフェース。ノートPCを使用して各プローブのXYZの動作も簡単に操作可能
特注案件にも柔軟に対応していますので、お気軽にご相談ください。プローブ数変更・走査型プローブ顕微鏡測定・その他
仕様
XY軸移動量 パルス制御 ± 2.5 mm
リニア制御 1μm 以下
Z軸移動量 パルス制御 ± 1.5 mm
リニア制御 1μm以下
試料サイズ 最大 10 mm × 10 mm、厚さ 1 mm 以内
重量 1000 g 以上
構成
構成部品 数量 H/W/D (Approx.)
ナノプローブステージユニット 1台 12 × 12 × 4
制御電源 1台 222 × 450 × 520
制御コンピュータ 1台 A4サイズ または B5サイズ
Pt:Ir 探針 10本 -
付属工具 1式 -
※接触検知機能オプション追加の場合のナノステージユニット、制御電源及び制御ソフトの構成・仕様につきましては直接 当社営業部 までお問い合わせ下さい。
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