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XYZ 3軸 ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000

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SEM、FIB、光学顕微鏡観察下でのナノ/マイクロ マニピュレーション・プロービングに最適

XYZ 3軸 ナノマニピュレータ/プローバ UMP1000

UMP1000はナノメートルレベルでXYZ3軸および回転軸の動作が可能なマニピュレータ/プローバです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることにより、マイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービングなど様々な用途に利用できます。

2本のプローブを用いた微小範囲での通電・切断などの微細加工、4本のプローブを用いた4端子法抵抗測定など用途に応じてSEMなどに組み込めます。

特長
簡単操作、粗動 (数百 nm 動作精度) と微動 (0.5 nm 以下精度) の切り替え式で素早い位置合わせが可能
低価格を実現!(価格はお問い合わせください)
市販のSEM/FIB/光学顕微鏡に組み合わせ可能
大気中~超高真空、常温~極低温までの広範囲な動作環境
マルチプロービングにも対応
マニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定など幅広い用途に対応
用途
SEM/FIB/光学顕微鏡などの観測下でのナノメートルオーダーの探針位置微調整 (プロービング)
大気中~超高真空中、かつ常温~極低温環境下でのプロービング
ナノメートルオーダーでの微小なマニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定などの表面電気特性測定
構成
本体部 1台
コントローラ 1台
付属品 1式
WindowsノートPC 1台
仕様
本体部
最大移動量 パルス (粗動) モード XY軸: 5 mm、Z軸: 3 mm
DC (微動)モード XYZ軸: 1 μm
最小移動量 (分解能) パルス (粗動) モード 200 nm 以下 (XYZ軸)
DC (微動) モード 0.5 nm以下 (XYZ軸)
動作環境 温度 4 K ~ 310 K、ベーキング温度 373 K 以下
圧力 大気圧付近 及び 10-2Pa~10-8Pa (ピエゾ素子の放電のため使用できない真空領域があります)
接続ケーブル (出力) 標準コントロール端子 (Dsub-15) 2 m 1式 ※超高真空・極低温対応 (注文製作) 2 m 1式
本体寸法 (突出部含む) 本体部分 約25(H) × 約50(D) × 約20(W) mm (探針部除く)
本体重量 60 g 以下 本体部分 (取付ベース部除く)
コントローラ
入力電圧 100 VAC (50/60 Hz)
消費電力 100 VA 以下
使用温度範囲 5°C ~ 40°C
使用湿度範囲 15% ~ 80%
入力出力 コントロール端子 (Dsub-15)
寸法 480(W) × 100(H) × 460(D) mm
重量 6 kg 以下
付属品
標準制御ソフト用CD-ROM 1枚
専用接続ケーブル (USB) Windows PC/コントローラ間 3 m 1本
専用接続ケーブル コントローラ 5 m 1本 (コネクター別)
ACケーブル 1.5 m 1本
WindowsノートPC (オプション・別売り)
OS Windows XP
インターフェイス USB 1個使用致します
CD-ROMドライブ 1個
メモリ 512 MB 以上
HDD 10 GB 以上
※取り付け可能なSEM/FIB等の機種につきましては、直接お問い合わせください。
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