XYZ 3軸 ナノマニピュレーター/プローバー UMP1000
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SEM、FIB、光学顕微鏡観察下でのナノ/マイクロ マニピュレーション・プロービングに最適
UMP1000はナノメートルレベルでXYZ3軸および回転軸の動作が可能なマニピュレータ/プローバです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることにより、マイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービングなど様々な用途に利用できます。
2本のプローブを用いた微小範囲での通電・切断などの微細加工、4本のプローブを用いた4端子法抵抗測定など用途に応じてSEMなどに組み込めます。
特長
| 簡単操作、粗動 (数百 nm 動作精度) と微動 (0.5 nm 以下精度) の切り替え式で素早い位置合わせが可能 |
| 低価格を実現！(価格はお問い合わせください) |
| 市販のSEM/FIB/光学顕微鏡に組み合わせ可能 |
| 大気中～超高真空、常温～極低温までの広範囲な動作環境 |
| マルチプロービングにも対応 |
| マニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定など幅広い用途に対応 |
用途
| SEM/FIB/光学顕微鏡などの観測下でのナノメートルオーダーの探針位置微調整 (プロービング) |
| 大気中～超高真空中、かつ常温～極低温環境下でのプロービング |
| ナノメートルオーダーでの微小なマニピュレーション、半導体ナノデバイスのIV測定、抵抗測定、EBIC測定などの表面電気特性測定 |
構成
| 本体部 |
1台 |
| コントローラ |
1台 |
| 付属品 |
1式 |
| Windows®ノートPC (オプション・別売り) |
1台 |
仕様
| 本体部 |
| 最大移動量 |
パルス (粗動) モード |
XY軸: 5 mm、Z軸: 3 mm |
| DC (微動)モード |
XYZ軸: 1 μm |
| 最小移動量 (分解能) |
パルス (粗動) モード |
200 nm 以下 (XYZ軸) |
| DC (微動) モード |
0.5 nm以下 (XYZ軸) |
| 動作環境 |
温度 |
4 K ～ 310 K、ベーキング温度 373 K 以下 |
| 圧力 |
大気圧付近 及び 10-2Pa～10-8Pa (ピエゾ素子の放電のため使用できない真空領域があります)
|
| 接続ケーブル (出力) |
標準コントロール端子 (Dsub-15) 2 m 1式
※超高真空・極低温対応 (注文製作) 2 m 1式
|
| 本体寸法 (突出部含む) |
本体部分 約25(H) × 約50(D) × 約20(W) mm (探針部除く) |
| 本体重量 |
60 g 以下 本体部分 (取付ベース部除く) |
| コントローラ |
| 入力電圧 |
100 VAC (50/60 Hz) |
| 消費電力 |
100 VA 以下 |
| 使用温度範囲 |
5°C ～ 40°C |
| 使用湿度範囲 |
15% ～ 80% |
| 入力出力 |
コントロール端子 (Dsub-15) |
| 寸法 |
480(W) × 100(H) × 460(D) mm |
| 重量 |
8 kg 以下 |
| 付属品 |
| 標準制御ソフト用CD-ROM |
1枚 |
| 専用接続ケーブル (USB) |
Windows® PC/コントローラ間 |
3 m 1本 |
| 専用接続ケーブル |
コントローラ |
5 m 1本 (コネクター別) |
| ACケーブル |
1.5 m 1本 |
| Windows®ノートPC (オプション・別売り) |
| OS(32bit版 or 64bit版) |
Windows® 7 or 10 |
| インターフェイス |
USB 1個使用致します |
| CD-ROMドライブ |
必要 |
| メモリ |
1GB以上(32Bit版)、2GB以上(64Bit版) |
| HDD |
100 MB 以上の空きがあること |
※取り付け可能なSEM/FIB等の機種につきましては、直接お問い合わせください。
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