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超高真空極低温4探針走査型プローブ顕微鏡システム USM1400-4P

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市販品で最も多機能、高性能な多探針SPMシステムでナノテクノロジー研究の新鋭ツールです

極低温超高真空4探針走査型プローブ顕微鏡システム USM1400-4P

JST先端計測開発事業の委託により、世界初ユニソクの総力を挙げて開発された最新鋭の多探針プローブ顕微鏡システムです。4探針独立にプローブ顕微鏡走査で、極低温領域から広い温度範囲でマイクロ・ナノスケールの表面電気伝導測定やナノデバイスの評価に使用されます。

独自に開発された多機能プローブを使用して高分解能を実現し、広範囲の応用計測が可能となります。


特長
電子顕微鏡によるナノスケールの位置決めが可能
STM・AFMの各機能が独立プローブで可能
4端子電気伝導測定がナノスケールで可能
超高真空MBE用真空チャンバー装備
光照射、発光測定、高周波測定などが容易
超伝導コイル (オプション) を組込んでホール効果、スピン計測に応用
用途
導電性薄膜のマイクロ、ナノスケール4端子抵抗測定
ナノ構造、ナノドットの導電特性の計測
有機導電膜、半導体の温度可変導電性計測
ナノデバイスのローカル電気特性の解析
温度可変STMイメージング
その他表面解析に広く応用できる
仕様
4プローブSTMヘッド
最大スキャン範囲 (X × Y × Z) 2 × 2 × 0.25 μm (低温時は1/4)
最小分解能 (STM) X, Y: 0.1 nm (原子分解能); Z: 0.02 nm以下
試料およびプローブステージ 最大駆動範囲 X, Y: 5 mm; Z: 3mm
FE-SEM
最小分解能 20 nmまで (条件設定加速電圧 2 5kV・WD 15 mm、プローブ電流1nA時) 最大視野 3 mm× 3 mm (加速電圧 5 kV 時)

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