超高真空低温4探針走査型プローブ顕微鏡システム USM1400-4P
商品カタログPDF SPMシステム対応表 論文紹介市販品で最も多機能、高性能な多探針SPMシステムでナノテクノロジー研究の新鋭ツールです
JST先端計測開発事業の委託により、世界初ユニソクの総力を挙げて開発された最新鋭の多探針プローブ顕微鏡システムです。4探針独立にプローブ顕微鏡走査で、低温領域から広い温度範囲でマイクロ・ナノスケールの表面電気伝導測定やナノデバイスの評価に使用されます。
独自に開発された多機能プローブを使用して高分解能を実現し、広範囲の応用計測が可能となります。
| 電子顕微鏡によるナノスケールの位置決めが可能 |
| STM・AFMの各機能が独立プローブで可能 |
| 4端子電気伝導測定がナノスケールで可能 |
| 超高真空MBE用真空チャンバー装備 |
| 光照射、発光測定、高周波測定などが容易 |
| 超伝導コイル (オプション) を組込んでホール効果、スピン計測に応用 |
| 導電性薄膜のマイクロ、ナノスケール4端子抵抗測定 |
| ナノ構造、ナノドットの導電特性の計測 |
| 有機導電膜、半導体の温度可変導電性計測 |
| ナノデバイスのローカル電気特性の解析 |
| 温度可変STMイメージング |
| その他表面解析に広く応用できる |
| 4プローブSTMヘッド | |
|---|---|
| 最大スキャン範囲 (X × Y × Z) | 0.38 × 0.38 × 0.38 μm3 @ 5 K |
| 最小分解能 (STM) | X, Y: 0.1 nm (原子分解能); Z: 0.02 nm以下 |
| 試料およびプローブステージ | 最大駆動範囲 X, Y: 5 mm; Z: 3mm |
| FE-SEM | |
| 最小分解能 | 20 nmまで (条件設定加速電圧 2 5kV・WD 15 mm、プローブ電流1nA時) 最大視野 3 mm× 3 mm (加速電圧 5 kV 時) |
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