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多元高温用エバポレーター UE-103C/104C

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金属用高温蒸着に特化したエバポレーター
最高1700°Cまでの多元蒸着が可能です

超高真空エバポレーター 右: エバポレータ (本体)、左: エバポレータ (本体) ※3元シャッター機能付 右: エバポレータ、左: エバポレータ※3元シャッター機能付
仕様
構造
蒸着源 ルツボ型蒸着源
加熱方式 フィラメント通電加熱方式
ルツボ容積 3 (dia.) × 6 (depth) mm (材質: アルミナ)
元素 (ルツボ) 数 シャッター機能なし: 4個
シャッター機能あり: 3個 ※ルツボの交換: 蒸着元素変更のためのルツボの交換はエバポレータ本体の引き取り・分解・交換・組み立て (有償作業) が必要です。予めご了承下さい。
取付フランジ ICF70
コネクタ 10P電琉導入端子
冷却機構 水冷式ジャケット標準装備 (水量: 1L/min) ※特に1000°C以上でのご使用時では水冷は必須です。
フランジ/ルツボ先端距離 取付フランジ面からルツボヘッド先端部 (シャッターなし) まで標準100mm (ご注文時に延長のご指定可能)
ターゲット距離 ルツボヘッド先端部から 100 mm 以上
真空チャンバ取付方向 水平面から > 30° 上向きに取付が必要
性能
加熱温度範囲 700 ~ 1700°C (連続使用時の推奨温度 700 ~ 1600°C) ※弊社製温度コントローラにて制御される場合、最高 1600°C (電琉: 7 A)
※温度計なしの仕様の場合、温度測定はできません
※るつぼ内温度と設定点の温度には差があります。
加熱電流 最大 7.5 A ~ 14 V
ベーキング温度 < 200°C
蒸着元素
材料形態 粉末・粒体・線材等ルツボ内に入るもの
材料充填量 ルツボの 1/2 以下を推奨 (但し取付角度に依存)
使用可能な蒸着材料 1700°C 以下で真空蒸着可能な元素、但し 700° C以下で蒸発する元素は制御が困難
シャッター機能…L103CS/103CSシリーズに標準装備
開閉機構 回転導入機による手動開閉 (回転ストッパー付)
シャッター板 サイズ: 34 mm dia. 回転半径: 30 mm
膜厚計機能…L103CSF/103CSFシリーズに標準装備
膜厚計素子取付位置 シャッター板面
膜厚計素子 水晶振動子
膜厚モニター Inficon社製膜厚計素子用モニター (XTM/2) を標準装備

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