> 表面分析装置 > SPMユニット製品 > SPMユニット その他の製品

SPMユニット その他の製品

2 kV スパッタイオン銃 IB-201

商品カタログPDF
2kV スパッタイオン銃

超高真空中で試料表面のクリーニングを目的とした『アルゴンスパッタイオン銃』です


ビームエネルギー (加速電圧) 0.5 kV ~ 2 kV (特注にて Max. 3 kV まで対応可)
ビーム直径 作動距離 100 mm において 10 mm
取り付けフランジ ICF70
取付けフランジ~ターゲットまでの距離 203 ~ 228 mm 推奨
最大ターゲット電流 10 μA (加速電圧 2 kV 時)
構成 イオン銃本体 1台
制御電源 (ケーブル含む) 1台

STM 探針電解研磨装置 UTE-1001

商品カタログPDF
STM探針電解研磨装置 UTE-1001

走査型トンネル顕微鏡 (STM) 用タングステン探針を電解研磨により作製できます。


電解研磨対象金属線 0.3 mm 径タングステン線
電解研磨後の探針の曲率半径 10~数十nm程度
使用溶液 1.2規定KOH水溶液※1
構成 電解研磨装置本体 1台
コントローラー (電源) 1台
ケーブル 1組
セル (白金線リングつき) 1個
セル台 1台
付属品
ミニマグライト 2個
Wワイヤ (φ 0.3 mm × 30 mm) 3本
※1: 2KOH水溶液は付属しておりません。

K-セル蒸着源 U100-1000

商品カタログPDF
K-セル蒸着源 U100-1000

超高真空中でSPM用試料表面への蒸着を目的とした簡便な単元蒸着源


加熱方式 フィラメント通電加熱方式
ルツボ容積 内径 4 mm × 深さ 22 mm ※充填量はルツボ容積の 1/2 ~ 1/3 以下を推奨
ルツボ BN製ルツボ、予備ルツボ1個付属
取付けフランジ ICF70
構成 K-セル蒸着源本体 1台
専用ケーブル 1組
ルツボ 2個 (加熱用電源、温度調整器は含んでおりません)

電子ビーム蒸着用温度コントローラ SPC-MTC

商品カタログPDF
電子ビーム蒸着用温度コントローラ SPC-MTC

電子ビーム蒸着時のEmission電流、Flux 電流もしくは温度を参照しながら、Filament電流を Feedback制御します。電子衝撃加熱用電源EB-401とセットで使用します。専用ソフトにより、 USB 接続されたPC 上で自動・手動制御が可能です。また単体での制御も可能です。


仕様
入力電源 90~240V
熱電対センサ K type, W-Re type
PC との接続 USB
OS Windows® 7 以降
寸法 幅483× 奥行350× 高さ88mm
(19インチラックタイプ、EIA ピッチ、2U)

液体ヘリウム液面計 HLM-100

商品カタログPDF
液体ヘリウム液面計 HLM-100

 HLM-100 は、液体ヘリウム用の液量計測器です。容器内の液体ヘリウムの液面(残量) を計測します。また液面計本体のみで計測と表示を行うことが でき、USBケーブルでコンピュータに接続することで測定周期を自由に設定したり、計測の結果をファイルに記録することが可能になります。


仕様
入力電源 AC90~240V
センサ入力 1 チャンネル(RM12BRD レセプタクル 5 極ソケット)
Position 出力 1 チャンネル(BNC レセプタクル)
PCとの接続 USB(mini-B 端子)
OS Windows® 7(32bit/64bit) / Windows® 10(32bit/64bit)
寸法 幅180× 奥行240× 高さ78(mm)

変調トランス SPC-DTF

商品カタログPDF
変調トランス SPC-DTF

 STM のバイアスに変調を加える際に使用します。 外部ロックインアンプを接続して、dI/dV 測定を行う際に必要です。 トランス結合により、OP加算方式に比べて低ノイズであることが特長です。


仕様
入出力間容量 0.7 pF
参照信号の減衰率 1/10
参照信号の周波数 100~300kHz
寸法 幅120× 奥行150× 高さ70(mm)

ステージ位置センサ SPC-UCP

商品カタログPDF
ステージ位置センサ SPC-UCP

 SPC-UCPはUSM1500シリーズなどで採用されている投入型SPMヘッドのZステージ位置を検出するためのコントローラです。投入型の場合、サンプルと針のアプローチポイントを目視して 近づけることができません。そこでSPC-UCPにより、Z方向のステージ位置を検出することで、アプローチ時間を大幅に短縮することができます。


仕様
入力電源 AC90~240V
センサ入力 1 チャンネル(RM12BRD レセプタクル 7 極ソケット)
Position 出力 1 チャンネル(BNC レセプタクル)
PCとの接続 USB
OS Windows® XP もしくは Windows® 7 (Windows® 8 以降は対応しておりません)
寸法 幅180× 奥行240× 高さ78(mm)
表示範囲 0~6.0mm (0.2mm 精度)