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超高真空集束イオンビーム･電子顕微鏡
商品カタログPDF超高真空FIB/SEMカラム
UNISOKUは、 フランスのオルセーフィジックス社 と技術提携を結び、超高真空対応の高空間分解能FIB/SEMカラムを提供します。
特長
- 超高真空環境対応 (UHV-SEM、UHV-FIB)
- 高い空間分解能 (最上位機種 2.5 nm 以下)
- 洗練されたユーザーインターフェースのソフト
- 金属堆積用ガス源対応可能
-
多様なカラム種
- i-FIB：25 nm@1 pA（WD=12 mm, 30 kV）
- COBRA-FIB: 2.5 nm@ 1pA（WD-12 mm, 30 kV）
- Orage-FIB：2.5 nm@1 pA（WD=12 mm, 30 kV）
- Vortex SEM: 25 nm@10 pA
- e-CLIPSE Plus SEM: 4 nm@<30pA
超高真空FIB/SEMシステム
ユニソクは超高真空SPMメーカーとして培った超高真空・低温技術を活かし、さまざまな超高真空FIB/SEMシステムを提案します。
提案例
- 低温FIB/SEMシステム
- SPM複合型FIB/SEMシステム
- マルチプロービングFIB/SEMシステム
- Dual FIB/SEMシステム
- オージェ分光、EDXシステム
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