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ナノプローブ・ナノ計測加工機

UMP1000-4P

UMP1000-4P ナノプローバー(超高真空)

超高真空4プローブ表面電気特性測定装置
  • 4プローブタイプ(X・Y・Z 4組)
  • SEM、FIB、光学顕微鏡へ組込可
  • nmオーダーの微小領域I-V測定
  • 4端子抵抗測定等
  • 大気～超高真空での使用可
  • コントローラ、パソコン含む
UMP1000

UMP1000

XYZ 3軸 ナノマニピュレーター/プローバー
  • シングルプローブ(X・Y・Z 1組)
  • SEM、FIB、光学顕微鏡への組込可
  • nmオーダー微小領域マニピュレーション等
  • 大気～超高真空での使用可
  • コントローラ、パソコン含む
UP2000-4P

UP2000-4P ナノプローバー(大気)

大気型4プローブ表面電気特性測定
  • 4プローブタイプ(X・Y・Z 4組)
  • UMP1000-4Pと光学顕微鏡のセット
  • nmオーダーの微小領域I-V測定
  • 4端子抵抗測定等
  • 大気使用
  • コントローラ、パソコン含む
UMP1000Rシリーズ

UMP1000Rシリーズ

ナノ・マイクロ回転ステージ
  • SEM、FIB、光学顕微鏡への組込可
  • プローバー操作に回転動作を付加
  • 大気～超高真空での使用可
  • コントローラ、パソコン含む
微小応力印加装置

微小応力印加装置

引張・圧縮・繰り返し疲労・4端子法接触抵抗測定
  • サブミクロン精度で試料やプローブの位置を制御
  • お手持ちの光学顕微鏡・走査型電子顕微鏡観察下での試験が可能
  • mNオーダーの延伸力を印加しながら計測
  • ナノインデンターとしての用途
  • 大気中～超高真空中での使用可
  • コントローラ、パソコン含む

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