大気型4プローブ表面電気特性測定 UP2000-4P
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大気中における「ミクロンオーダー」から「ナノオーダー」の各種表面電気測定やマニピュレーションを可能に！
4プローブステージ本体
真空型4プローブステージ本体(例)
真空中でのプロービング及び表面測定のための高真空型システムの製作も可能です。どうぞお気軽にご相談下さい。
特長
| 光学顕微鏡でサンプル表面を観察しながら4つのプローブの各々独立しているXYZ 3軸をPCとリモコンにより簡単操作 |
| サンプルステージ側も独立したXY移動が可能なので煩雑なサンプル位置調整が不要 |
| サンプル加熱にも対応可能 |
| PC画面上に表示されたサンプル表面を見ながら、直観的で容易なマニピュレーションが操作可能 |
構成
| 4プローブステージ本体 (光学顕微鏡付) |
1 |
| 4プローブ制御装置 (リモコン付) |
1 |
| 制御観察用ノートPC (制御プログラム付) |
1 |
| 付属プローブ (白金イリジウム製) |
1式 |
仕様
| 光学顕微鏡及びCCDカメラ |
| 基本最小分解能 |
2 μm ～ 13 μm (標準レンズ使用時) |
| 標準にてZOOM機能内蔵、CCDカメラ 200万画素 |
| 最大表示 1600 × 1200ピクセル |
| 照射用光源及び光源ファイバー標準装備 |
| 4プローブステージ |
| サイズ |
縦 × 横 |
140 mm × 140 mm |
| ステージ収納ケース (オプション) の内径 |
200 mm dia. |
| 最大移動距離 |
XY: 5 mm、Z: 3 mm |
| 微動移動距離 |
1 μm |
| 駆動方式 |
パルス制御 及び リニア制御 モード |
| サンプルステージ |
| 最大移動範囲 |
X軸 |
10 mm |
| Y軸 |
5 mm |
| 駆動方式 |
パルス制御
※加熱及び冷却ステージはオプション設定
|
| サンプルホルダー |
| 最大サンプルサイズ |
10 mm × 10 mm |
| 通電加熱用コンタクト |
2接点
※ユーザー使用可能な端子を5接点ご用意しております。
|
| 探針 |
| 針先径 |
0.5 mm ～ 0.3 mm |
| 別途オプション: 弊社製 Pt;Ir 及びタングステン針をご用意しております。各針先 (探針) を測定端子としてご提供致します。 |
| 制御ユニット |
| 4プローブ専用コントローラ |
| 入力電圧 |
AC 100 ～ 115 V (50 Hz、60 Hz)、200 VA (MAX) |
| 入力 |
専用コントロール端子 |
| ステージコントローラ |
| 入力電圧 |
AC 100 ～ 115 V (50 Hz、60 Hz) 60 VA (MAX) |
| 出力端子 |
MS, D-sub等 |
| 入力端子 |
リモコン標準装備 |
| 操作PC |
| ノートPC |
対応OS: Windows® 11、専用制御ソフトをプリインストール |
※電気特性の測定回路等、お客様にてご用意下さい (真空対応はオプションになります)。
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