微小応力印加装置
商品カタログPDF 論文サブミクロンオーダーの精度で位置制御し試料をクリップ
SEM、FIB、光学顕微鏡下での材料試験が可能
| 引張・圧縮・繰り返し疲労・4端子法接触抵抗測定に これ1台で対応 |
| ナノインデンターとしての用途にも対応 |
| お手持ちの光学顕微鏡・走査型電子顕微鏡観察下での試験が可能！ |
| 自社製マイクロクリップ等オプション追加やカスタマイズ御相談承ります |
| mNオーダーの延伸力を印加しながら計測 |
| 大気中～超高真空中での動作可能 |
微小応力印加装置（本体例） |
制御装置 |
制御ソフト画面 |
制御装置ブロック図 |
Micro Clip操作軸 |
Micro Clip操作画面 |
オプション製作：自社製Siマイクロクリップ（一例） |
| 試験機本体 | 1 |
|---|---|
| 制御装置(PC含む) | 1 |
| ケーブル | 1式 |
| 制御ソフト | 1 |
| 駆動方式 | コースモーション：パルスモーター(最大10mm) ファインモーション：PZT(最大100um) |
|---|---|
| 変位量測定 | 200μm容量センサー使用 |
| 引張力測定 | 20Nロードセル使用 |
| 圧縮力測定 | 500mNロードセル使用 |
| 繰り返し疲労試験時の制御 | 変位振幅制御と負荷振幅制御の選択可 振幅制御周波数：0.1～10Hz |
| 繰り返し疲労試験振幅波形 | サイン波と三角波の選択可 |
| 動作環境 | 大気圧および-2乗Pa以下の高真空下 |
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