ナノプローバー(超高真空) UMP1000-4P
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コントローラー
制御コンピュータ
ナノプローブステージユニット
| 各プローブがアクチュエータとしてXYZ軸の制御が可能。半導体表面の任意位置で電気特性測定に最適 |
| 小型、軽量で市販のSEMにも取り付け可能 |
| 超高真空、超低温環境でも動作可能 |
| 使いやすいユーザーインターフェース。ノートPCを使用して各プローブのXYZの動作も簡単に操作可能 |
| 特注案件にも柔軟に対応していますので、お気軽にご相談ください。プローブ数変更・走査型プローブ顕微鏡測定・その他 |
| XY軸移動量 | パルス制御 | ± 2.5 mm |
|---|---|---|
| リニア制御 | 1μm 以下 | |
| Z軸移動量 | パルス制御 | ± 1.5 mm |
| リニア制御 | 1μm以下 | |
| 試料サイズ | 最大 10 mm × 10 mm、厚さ 1 mm 以内 | |
| 重量 | 1000 g 以下 | |
| 構成部品 | 数量 | H/W/D (Approx.) |
|---|---|---|
| ナノプローブステージユニット | 1式 | 36 × 116 × 116 |
| 制御電源 | 2台 | 88 × 430 × 350 |
| 制御コンピュータ | 1台 | A4サイズ または B5サイズ |
| Pt:Ir 探針 | 10本 | - |
| 付属工具 | 1式 | - |
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