EB蒸着器・サンプル加熱用電源 EBM-100
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リモートコントローラ
EBM-100本体
EBM-100は高真空中でのEB蒸着 及びサンプル加熱を目的としたEB加熱電源です。
| 高出力（エミッション電圧：3ｋV フィラメント電圧：7V） |
| エミッション電圧/電流とフィラメント電圧/電流が各々可変 |
| 高い安定性 |
| リモコン操作が可能 |
| 軽量・コンパクト |
| 超高真空中でのEB蒸着 |
| 超高真空中でのサンプル加熱 |
| 電源本体 | 1台 |
|---|---|
| リモートコントローラ（EBR-100） | 1台 |
| 電源入力用ACケーブル | 1本 |
| 取扱説明書 | 1部 |
| エミッション(加速)電圧/電流 |
最大3kV/100ｍA(可変) ＊但し最大電流値付近で最大出力電圧2.8kV 出力端子：高圧BNCコネクタ |
|---|---|
| フィラメント電圧/電流 |
最大7V/4A(可変) 出力端子：PRC03多治見コネクタ *加速電源の負側とフィラメント電源の負側は内部で接続 |
| 外部制御入力端子 |
BNCコネクタ フィラメント電圧用制御信号 0～10V 加速電圧用制御信号 0～10V |
| モニター出力端子 |
BNCコネクタ フィラメント電流用端子 -0.3～0V (-0.1mV/A) エミッション電流用端子 -1～0V (-10mV/mA) |
| 寸法・重量 | 幅430 × 高さ99 × 奥行き450(mm) 重量＜8Kg |
| 電源電圧 |
AC100V(+-10%) 50/60Hz 単相 または AC230V(+-10%) 50/60Hz 単相 |
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