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大気型4プローブ表面電気特性測定 UP2000-4P

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大気中における「ミクロンオーダー」から「ナノオーダー」の各種表面電気測定やマニピュレーションを可能に!

大気型4プローブ表面測定システム-マイクロ・ナノマニピュレーションに最適 大気型4プローブ表面測定 高真空型マニピュレーションシステム

真空中でのプロービング及び表面測定のための高真空型システムの製作も可能です。どうぞお気軽にご相談下さい。


特長
光学顕微鏡でサンプル表面を観察しながら4つのプローブの各々独立しているXYZ 3軸をPCとリモコンにより簡単操作
サンプルステージ側も独立したXY移動が可能なので煩雑なサンプル位置調整が不要
サンプル加熱にも対応可能
PC画面上に表示されたサンプル表面を見ながら、直観的で容易なマニピュレーションが操作可能
構成
4プローブステージ本体 (光学顕微鏡付) 1
4プローブ制御装置 (リモコン付) 1
制御観察用ノートPC (制御プログラム付) 1
付属プローブ (白金イリジウム製) 1式
仕様
光学顕微鏡及びCCDカメラ
基本最小分解能 2 μm ~ 13 μm (標準レンズ使用時)
標準にてZOOM機能内蔵、CCDカメラ 200万画素
最大表示 1600 × 1200ピクセル
照射用光源及び光源ファイバー標準装備
4プローブステージ
サイズ 縦 × 横 140 mm × 140 mm
ステージ収納ケース (オプション) の内径 200 mm dia.
最大移動距離 XY: 5 mm、Z: 3 mm
微動移動距離 1 μm
駆動方式 パルス制御 及び リニア制御 モード
サンプルステージ
最大移動範囲 X軸 10 mm
Y軸 5 mm
駆動方式 パルス制御 ※加熱及び冷却ステージはオプション設定
サンプルホルダー
最大サンプルサイズ 10 mm × 10 mm
通電加熱用コンタクト 2接点 ※ユーザー使用可能な端子を5接点ご用意しております。
探針
針先径 0.5 mm ~ 0.3 mm
別途オプション: 弊社製 Pt;Ir 及びタングステン針をご用意しております。各針先 (探針) を測定端子としてご提供致します。
制御ユニット
4プローブ専用コントローラ
入力電圧 AC 100 ~ 115 V (50 Hz、60 Hz)、200 VA (MAX)
入力 専用コントロール端子
出力 4プローブ専用端子 (4個)
表示機能 各パルスのX, Y, Zの動作表示LED
ステージコントローラ専用
入力電圧 AC 100 ~ 115 V (50 Hz、60 Hz)、100 VA (MAX)
出力端子 ステージコントロール端子、XY軸 (マニュアル切替)
入力端子 外部リモコン専用端子、リモコン標準装備
操作PC
ノートPC 対応OS: Windows XP/VISTA (VISTAは順次対応予定)、専用制御ソフトをプリンストール
専用リモートコントローラー 標準装備
※電気特性の測定回路等、お客様にてご用意下さい (真空対応はオプションになります)。
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