大気型4プローブ表面電気特性測定 UP2000-4P
商品カタログPDF大気中における「ミクロンオーダー」から「ナノオーダー」の各種表面電気測定やマニピュレーションを可能に!
4プローブステージ本体
真空型4プローブステージ本体(例)
真空中でのプロービング及び表面測定のための高真空型システムの製作も可能です。どうぞお気軽にご相談下さい。
光学顕微鏡でサンプル表面を観察しながら4つのプローブの各々独立しているXYZ 3軸をPCとリモコンにより簡単操作 |
サンプルステージ側も独立したXY移動が可能なので煩雑なサンプル位置調整が不要 |
サンプル加熱にも対応可能 |
PC画面上に表示されたサンプル表面を見ながら、直観的で容易なマニピュレーションが操作可能 |
4プローブステージ本体 (光学顕微鏡付) | 1 |
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4プローブ制御装置 (リモコン付) | 1 |
制御観察用ノートPC (制御プログラム付) | 1 |
付属プローブ (白金イリジウム製) | 1式 |
光学顕微鏡及びCCDカメラ | ||
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基本最小分解能 | 2 μm ~ 13 μm (標準レンズ使用時) | |
標準にてZOOM機能内蔵、CCDカメラ 200万画素 | ||
最大表示 1600 × 1200ピクセル | ||
照射用光源及び光源ファイバー標準装備 | ||
4プローブステージ | ||
サイズ | 縦 × 横 | 140 mm × 140 mm |
ステージ収納ケース (オプション) の内径 | 200 mm dia. | |
最大移動距離 | XY: 5 mm、Z: 3 mm | |
微動移動距離 | 1 μm | |
駆動方式 | パルス制御 及び リニア制御 モード | |
サンプルステージ | ||
最大移動範囲 | X軸 | 10 mm |
Y軸 | 5 mm | |
駆動方式 | パルス制御 ※加熱及び冷却ステージはオプション設定 | |
サンプルホルダー | ||
最大サンプルサイズ | 10 mm × 10 mm | |
通電加熱用コンタクト | 2接点 ※ユーザー使用可能な端子を5接点ご用意しております。 | |
探針 | ||
針先径 | 0.5 mm ~ 0.3 mm | |
別途オプション: 弊社製 Pt;Ir 及びタングステン針をご用意しております。各針先 (探針) を測定端子としてご提供致します。 | ||
制御ユニット | ||
4プローブ専用コントローラ | ||
入力電圧 | AC 100 ~ 115 V (50 Hz、60 Hz)、200 VA (MAX) | |
入力 | 専用コントロール端子 | |
ステージコントローラ | ||
入力電圧 | AC 100 ~ 115 V (50 Hz、60 Hz) 60 VA (MAX) | |
出力端子 | MS, D-sub等 | |
入力端子 | リモコン標準装備 | |
操作PC | ||
ノートPC | 対応OS: Windows® 7 or 10、専用制御ソフトをプリインストール |
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