株式会社ユニソク

バヨネット型・フラッグ型 サンプルホルダー変換システム Aquila

フラッグ型として機能するユニソク6電極試料ホルダ

 バヨネット型からフラッグ型へのサンプルホルダー変換が可能となります。ロードロックチャンバーに隣接してトランジットチャンバーを設置することで、超高真空を維持したままのサンプルホルダー変換も可能となります。さらに真空スーツケースと併用すれば、MBE*やXPS**などの他システムで準備・分析されたサンプルを、UNISOKU 極低温強磁場 STMへ搬送可能となります。

*MBE; Molecular beam epitaxy, 材料作製装置の1種　**XPS: X-ray photoelectron spectroscopy, 材料分析装置の1種

- EB heating available in PREP < 1500℃ and also in flag-type other system < 1500℃
- 1 electrode available for measurement.

新製品


- DC heating available in PREP < 400℃ and also in flag-type other system < 400℃
- 6 electrode available for measurement.

変換の様子

商品のねらい

 試料の作製・分析装置においては、フラッグ型試料が主流となっています。特に、複数の電極を備えた構造は電気伝導測定などの基礎的な物性評価に適しており、広く用いられています。本技術は、こうしたフラッグ型で作製・分析された試料を、弊社の標準機である USM1300/1600 の6電極ホルダに適合させ、測定を可能にすることを目的として開発されました。本技術の核心は、ホルダ形状を超高真空中で組み換え可能とする機構の実現にあり、ワイヤーボンドで作製された多電極試料であっても、極低温・強磁場下でのSPM測定や多電極測定が可能となります。この機構の導入により、新規試料を作製する専門家と極限環境測定を行う専門家の連携が促進され、研究のスピードと効率の向上が期待されます。

用途

　　

No	商品名	構成	ホルダー タイプ	保有 電極数	加熱可能温度	構造説明	用途
1	Piggyback ホルダー	フラッグ+ バヨネット+ 試料ステージ （写真）	EB	3 *6電極型に 形を合わせ ることは可	1500℃ *バヨネット型・ フラッグ型ともに 1500℃まで加熱可 能ですが、加熱後 のネジ噛込対策は 必要となります。	バヨネット型では、 ユニソクSTMヘッド 内で測定利用可能な 電極数は1つです。 残り2電極がEB加熱 用のフィラメントと なります。フラッグ 型では、試料ステー ジがフラッグに金属 的に接続され、1電極 状態となります。	材料作製や材料分析（MBE・XPS 等）で利用される試料を汚染する ことなく、極低温強磁場測定(ユニ ソクSPM使用)を可能にします。 超高真空内での型変換をするため には、下記のトランジットチャン バーを含む、Piggybackシステム が必要となります。 単品購入では、ロードロックチャ ンバーから取り出して型変換する 必要があり、大気か不活性ガス中 変換となります。
2	Aquila ホルダー	フラッグ+ バヨネット+ ノブ（写真）	DC	6	400℃ *バヨネット型・ フラッグ型ともに 400℃まで加熱可 能です。４電極板 (緑色)を外せば、 利用可能な電極数 が2電極に減ります が、バヨネット型 で1300℃、フラッ グ型で900℃程度ま で加熱可能となり ます。	バヨネット型では、 ユニソクSTMヘッド 内で測定利用可能な 電極数は６つとなり ます。フラッグ型で は、配線処理可能に するため、フラッグ 上にバヨネット６電 極が全て乗るように 設計されており、６ 電極全てがフラッグ に金属的に接続され る1電極状態となり ます。	上記の用途に加え、配線処理（ワ イヤーボンド）にも利用可能とな り、試料が汚染されることなく極 低温強磁場測定(ユニソクSPM・多 電極伝導測定システム使用)を可能 にします。超高真空内での型変換 をするためには、下記のトランジ ットチャンバーを含む、Aquilaシ ステムが必要となります。 単品購入では、ロードロックチャ ンバーから取り出して型変換する 必要があり、大気か不活性ガス中 変換となります。
3	Piggyback システム	Piggyback ホルダー + トランジット チャンバーA	−	−	−	特殊なトランスファー ロッドとストック台に より、超高真空内で型 変換が可能になります。 型変換は、処理室また はロードロックのいず れかで実施可能です。 処理室で行うの場合は、 冷却なしマニピュレ ータ（標準仕様）に追 加設置できるため、追 加のチャンバーは不要 です。 一方、ロードロックで 行うの場合は、トラン ジットチャンバーを追 加設置することで型変 換を実現します。	−
4	Aquila システム	Aquila ホルダー + トランジット チャンバーB

販売実績

オークリッジ国立研究所 (アメリカ)

南洋理工大学 (シンガポール)

テネシー大学 (アメリカ)

マックス・プランク研究所 (ドイツ)

オーフス大学 (デンマーク)