多元高温用エバポレーター UE-103C/104C
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金属用高温蒸着に特化したエバポレーター
最高1700°Cまでの多元蒸着が可能です
右: エバポレータ、左: エバポレータ※3元シャッター機能付
| 構造 | |
|---|---|
| 蒸着源 | ルツボ型蒸着源 |
| 加熱方式 | フィラメント通電加熱方式 |
| ルツボ容積 | 3 (dia.) × 6 (depth) mm (材質: アルミナ) |
| 元素 (ルツボ) 数 |
シャッター機能なし: 4個 シャッター機能あり: 3個 ※ルツボの交換: 蒸着元素変更のためのルツボの交換はエバポレータ本体の引き取り・分解・交換・組み立て (有償作業) が必要です。予めご了承下さい。 |
| 取付フランジ | ICF70 |
| コネクタ | 10P電琉導入端子 |
| 冷却機構 | 水冷式ジャケット標準装備 (水量: 1L/min) ※特に1000°C以上でのご使用時では水冷は必須です。 |
| フランジ/ルツボ先端距離 | 取付フランジ面からルツボヘッド先端部 (シャッターなし) まで標準100mm (ご注文時に延長のご指定可能) |
| ターゲット距離 | ルツボヘッド先端部から 100 mm 以上 |
| 真空チャンバ取付方向 | 水平面から > 30° 上向きに取付が必要 |
| 性能 | |
| 加熱温度範囲 |
700 ～ 1700°C (連続使用時の推奨温度 700 ～ 1600°C)
※弊社製温度コントローラにて制御される場合、最高 1600°C (電琉: 7 A) ※温度計なしの仕様の場合、温度測定はできません ※るつぼ内温度と設定点の温度には差があります。 |
| 加熱電流 | 最大 7.5 A ～ 14 V |
| ベーキング温度 | < 200°C |
| 蒸着元素 | |
| 材料形態 | 粉末・粒体・線材等ルツボ内に入るもの |
| 材料充填量 | ルツボの 1/2 以下を推奨 (但し取付角度に依存) |
| 使用可能な蒸着材料 | 1700°C 以下で真空蒸着可能な元素、但し 700° C以下で蒸発する元素は制御が困難 |
| シャッター機能…L103CS/103CSシリーズに標準装備 | |
| 開閉機構 | 回転導入機による手動開閉 (回転ストッパー付) |
| シャッター板 | サイズ: 34 mm dia. 回転半径: 30 mm |
| 膜厚計機能…L103CSF/103CSFシリーズに標準装備 | |
| 膜厚計素子取付位置 | シャッター板面 |
| 膜厚計素子 | 水晶振動子 |
| 膜厚モニター | Inficon社製膜厚計素子用モニター (XTM/2) を標準装備 |
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