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超高真空エバポレーター UEシリーズ

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コンパクトな多元蒸着源

超高真空エバポレーター UEシリーズ

超高真空中で試料表面に微量の金属または有機物を蒸着できる多元蒸着源です。オプションでシャッターや膜厚測定機能を追加できます。

特長
コンパクトかつコストパフォーマンスに優れたルツボ式3元または4元蒸着源
多元高温用エバポレーター (温度範囲700°C～1700°C）UE-103C/104Cシリーズと多元エバポレーター (温度範囲150°C～800°C) UE-203C/204Cシリーズの2機種をラインナップ
シャッター追加、膜厚測定機能 (オプション)
用途
超高真空中でターゲット試料表面へ微量な金属または有機物の蒸着

仕様

UEシリーズ共通
加熱方式 フィラメント通電加熱方式
ルツボ容積 内径2.6×深さ6 mm (充填量はルツボ容積の1/2以下を推奨)
ルツボ数 シャッター機能なし: 4個
シャッター機能あり: 3個 ※ルツボ交換はエバポレーター本体の引き取り、分解、交換、再組み立て (有償作業) が必要
取付けフランジ ICF70
ターゲットまでの距離 ルツボヘッド先端から100mm以上 (標準蒸着源サイズでは取付けフランジから200mm以上推奨)
取付け方向 水平面から30°以上上向きに取付けが必要
オプション
シャッター 回転導入機による手動開閉
膜厚計 シャッター板のルツボ側面に設置
多元高温用エバポレーター
加熱温度 700～1700°C (連続運転時の推奨温度は1600°Cまで)
冷却機構 水冷ジャケット装備 (1000°C以上での御使用時には水冷必須)
ルツボ材質 アルミナ
熱電対 W-Re使用
多元エバポレーター
加熱温度 150～800°C
冷却機構 水冷ジャケット装備 (500°C以上での御使用時には水冷必須)
ルツボ材質 タンタル
熱電対 Kタイプ

UEシリーズ 構成・型番 対応表

多元高温用エバポレーター
型番:UE- 元素数 熱電対 (W-Re) シャッター機能 膜厚計機能 温度コントローラ
L104C 4 × × × ×
L103CS 3 × ○ × ×
L103CSF 3 × ○ ○ ×
104C 4 ○ × × ×
104CT 4 ○ × × ○
103CS 3 ○ ○ × ×
103CST 3 ○ ○ × ○
103CSF 3 ○ ○ ○ ×
103CSFT 3 ○ ○ ○ ○
○: 標準装備、×: 未装備
多元エバポレーター
型番: UE- 元素数 熱電対 (Kタイプ) シャッター機能 膜厚計機能 温度コントローラ
204C 4 ○ × × ×
204CT 4 ○ × × ○
203CS 3 ○ ○ × ×
203CST 3 ○ ○ × ○
203CSF 3 ○ ○ ○ ×
203CSFT 3 ○ ○ ○ ○
○: 標準装備、×: 未装備

外観寸法

超高真空エバポレーター 外観寸法 上: エバポレーター ※4元シャッター機能なし、下: エバポレーター ※3元シャッター機能付
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